微電子潔凈廠房的特點和火災危險性     上海

微電子潔凈廠房的特點和火災危險性     上海

一、微電子工業類潔凈廠房的特殊工藝決定了它具有以下特點和火災危險性：

（1）廠房內大量存在用特殊的板材設置的潔凈室。潔凈室是個相對密閉空間，有的還是無窗密閉體。一般不設置開啟通風窗，密閉空間一旦發生火災，熱量難于散發，產生大量煙氣，給人員疏散和消防隊的撲救造成較大困難。

（2）廠房對工藝加工設備精度和自動化程度要求很高，因而建筑以及生產設備投資十分昂貴，一旦發生火災，會造成嚴重的經濟損失。

（3）廠房操作工藝大多需使用易燃、易爆液體或氣體。一旦有液體或氣體泄漏，就有可能引發火災、。

（4）潔凈室的電氣設備較多，線路大多為暗敷，檢修比較困難，有了故障及火災時不易發現。

（5）廠房內有許多管道（如通風管、電纜管）跨樓層相通，發生火災，火勢會順著管道迅速蔓延。

（6）廠房內的走廊、通道管，由于工藝的特殊要求，都布置得迂回曲折，人員疏散困難。

（7）室內裝修使用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產生濃煙，散，有的燃燒速度快。

二、鑒于微電子工業類潔凈廠房的特殊性和火災危險性，建筑防火設計中應注意以下方面：

（一）防火分隔

1、潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

2、潔凈廠房樓層數的判定：由于工藝要求，潔凈廠房的層高一般較普通廠房高，并需要設置上下技術夾層或技術夾道，夾層內設置一些設備、風機、風管、電纜、氣體和液體的輸送管道。它與潔凈區之間由鏤空地板、吊頂或錯綜復雜的管道上下連通。如果將技術夾層算為獨立的一層，防火分隔顯然很困難，筆者借鑒專家的意見認為可將上下技術夾層及生產區作為一層來考慮，但應在上下夾層內設置相應的消防設施。

3、潔凈廠房的防火分區。由于工藝的需要，生產車間生產線長度達到200余米，按照《民用建筑設計防火規范》的要求設置防火分區不現實。鑒于該類工業的從業人員少，如果加強安全疏散條件和防火滅火設施配備，可按照生產需要設置防火分區。

（二）安全疏散

1、安全出口與疏散通道：在潔凈廠房的設計中，人員的安全疏散是尤為重要，也是較復雜的。應按照《潔凈廠房設計規范》要求每一生產層、每一防火分區或每一潔凈區的安全出口數量，均不應少于二個，且安全出口應當分散布置。設計時應盡量使疏散路線與工藝流程分隔開，滿足從任何一處生產地點至安全出口不經過曲折的人員凈化路徑，應直接明了避免曲折，且在走上設置明顯的指示標志。

2、火災撲救出入口的要求：由于潔凈廠房是個封閉間，一旦發生火災，給消防隊員的撲救帶來困難，因此規范要求潔凈廠房的外墻應設可供消防隊員通往廠房潔凈區的消防口，消防口的間距不大于80m，其寬度不應小于750mm，高度不小于1900mm，應有明顯標志，消防口平時可封閉，使用時由消防隊員從室外打開。設計中在廠房內的火災撲救入口門應盡量開設在樓梯間內或疏散走道上，保證滅火人員的自身安全。

（三）室內裝修

潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料，潔凈生產與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。這樣可以避免因室內任何一方發生火災殃及另外一方，避免燃燒時產生窒息性氣體、有害氣體等。目前外制造生產的潔凈室用金屬壁板，大部分均能滿足上述要求。

（四）消防給水和滅火設備

1、潔凈室的生產層及上下技術加層（不含不通行的技術夾層），均應設置室內消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，每支水槍的出水量應不小于5L/s。

2、潔凈廠房內設有貴重設備、儀器的房間應設置固定滅火設施。當設置自動噴水滅火系統時，宜采用預作用式自動噴水滅火系統，當設置氣體滅火系統時，不應采用能導致人員窒息和對保護對象產生二次損害的滅火劑。

（五）消防通訊設施

由于潔凈廠房室內大量使用金屬板材，一般屏蔽效果很強。所以在潔凈廠房內應設置一套完善的消防通訊設施。這套設施不僅為內部職工在發生火災后報警和通訊使用，更應參與滅火的消防官兵使用，以確?；饒鐾ㄓ嵉臅惩?，減少不必要的通訊中斷和通訊故障，以確保滅火人員的生命安全。

（六）通風和防排煙

1、易燃、易爆區域的排風應與一般區域分開，單獨設置，并選擇防爆型排風風機。

2、為保證生產安全和員工安全，應設置事故排風系統。事故排風系統應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。

3、潔凈廠房的走廊，應設置機械防排煙設施。潔凈廠房內管線種類較多，若增加一套防排煙管道有很大難度，潔凈室機械防排煙系統可于通風、凈化空調系統合用，但必須采取可靠的防火安全措施。

4、風管應采用不燃材料，并根據相關規范的要求設置防火閥。

（七）電氣

1、潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明和疏散指示標志。在消防口處應設置紅色應急照明燈。

2、潔凈廠房內應設置備用照明，滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的zui低照度，一般不應低于正常照明照度標準的1/10。

3、潔凈廠房生產區（包括技術夾層）、機房、站房等均應設置火災報警探測器。潔凈廠房生產區及走廊應設置手動火災報警按鈕。

4、潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。